SSB225/20型投影光刻機(jī)空氣隔振器使用教程

在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展下，投影光刻機(jī)作為一種重要的微細(xì)加工設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、科學(xué)研究領(lǐng)域等。為了保證光刻機(jī)的高精度加工效果，提高設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性，投影光刻機(jī)空氣隔振器的應(yīng)用就顯得尤為重要。本文將介紹SSB225/20型投影光刻機(jī)空氣隔振器使用方法，幫助用戶正確操作和維護(hù)設(shè)備。

 

1.在使用SSB225/20型投影光刻機(jī)空氣隔振器之前，首先需要檢查隔振器的安裝正確與否。保證安裝位置平整穩(wěn)固，并且與光刻機(jī)底座連接緊密。同時(shí)，檢查氣源管道的連接狀況，保證氣體能夠順利進(jìn)入隔振器，維持正常的運(yùn)行狀態(tài)。

2.接下來，我們需要了解怎樣正確操作SSB225/20型投影光刻機(jī)空氣隔振器。首先，開啟氣源開關(guān)，確保氣體供應(yīng)正常。隨后，通過調(diào)整氣源壓力調(diào)節(jié)閥，將隔振器內(nèi)氣囊的壓力調(diào)整至合適的范圍。過高或過低的氣囊壓力都會(huì)影響設(shè)備的工作效果，因此需根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。

 

3.隔振器里的氣囊壓力調(diào)節(jié)完成后，我們需要進(jìn)行平整度和垂直度的校正。首先，開啟光刻機(jī)的水準(zhǔn)校正功能，并依據(jù)設(shè)備操作手冊(cè)要求進(jìn)行有關(guān)調(diào)節(jié)。對(duì)于垂直度的校正，能夠通過調(diào)節(jié)氣源開關(guān)和氣囊壓力調(diào)節(jié)閥，來實(shí)現(xiàn)隔振器的升降調(diào)節(jié)。在調(diào)整過程中，需要注意保持光刻機(jī)的平穩(wěn)，避免產(chǎn)生任何不必要的振動(dòng)。